淄博氟硅材料产业崛起 齐氟新材料引领国产化替代浪潮

甘肃经济日报淄博讯（新甘肃·甘肃经济日报记者 陈功章）4月15日，“行走黄河”主题报道采访团走进山东齐氟新材料有限公司。在淄博市，化工产业作为工业第一支柱产业，已构建起完备的产业体系，石油化工、精细化工、化工新材料三大板块协同发展，聚烯烃、聚氨酯、氟硅材料、工程塑料四大特色产业集群蓬勃兴起。其中，氟硅材料产业发展势头尤为强劲，年产能超200万吨，产品覆盖无机氟化物、有机硅单体等多个品类。该产业成功入选山东省“十强”产业“雁阵形”集群，多项产品打破国外技术垄断，实现了国产化替代。

“一期项目的核心产品是电子级超纯PFA。在半导体制程工艺中，常使用强酸强碱气体进行‘刻蚀’，运输和承载这些气体，需要一种电子级PFA新材料。”山东齐氟新材料有限公司副总经理张传本介绍，此前我国已能生产工业级PFA，但用于半导体行业的电子级PFA，长期依赖进口。

为何电子级超纯PFA如此难制造？关键在于其对纯度要求极高。张传本介绍：“超纯PFA可将半导体制程中金属离子含量由ppm级（百万分之一）控制到ppb级（十亿分之一），是14nm尤其是7nm以下高端芯片制程不可替代的材料。”

高青县作为淄博氟硅材料产业的重要布局区域，凭借20多年的氟化工产业发展基础，成功入选山东省特色产业集群。2023年，其全产业链产值近百亿元。坐落于此的山东齐氟新材料有限公司，成为推动产业升级的核心力量。

山东齐氟新材料有限公司成立于2022年，公司以支撑新兴产业发展为使命，全力打造高端氟材料板块。

二期项目已经动工，其核心产品年产3000吨的氟橡胶，是重要的密封材料；年产6000吨的含氟换热液，是AI、数据中心用的换热介质，具有广阔的市场前景。